皖儀科技精彩亮相IC China 2025，并成功加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟
2025-11-24
11月23日-25日，第二十二屆中國國際半導體博覽會（IC China 2025）在北京國家會議中心隆重舉行。這場由中國半導體行業(yè)協(xié)會、中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院聯(lián)合主辦的行業(yè)盛會，以“凝芯聚力·鏈動未來”為主題，匯聚了全球半導體領域的精英企業(yè)與全新技術成果。皖儀科技攜半導體行業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案參展，同期，參加2025年產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟中半?yún)f(xié)支撐業(yè)分會聯(lián)席理事(擴大)會議，并正式獲批加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟。
硬核展示：皖儀科技三大解決方案
作為全球精密科學儀器專業(yè)供應商，皖儀科技本次展會帶來了半導體行業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案的多元化產(chǎn)品線，包括AMC監(jiān)測解決方案、一站式密封性檢測解決方案和實驗室分析儀器解決方案三大板塊。這些解決方案瞄準了半導體制造過程中的關鍵痛點，為行業(yè)提供了可靠的技術支撐。
在AMC監(jiān)測領域，皖儀科技展示的專業(yè)方案能夠有效應對半導體生產(chǎn)環(huán)境中的有害氣體分子污染物—這些被稱為威脅產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全的“隱形殺手”。皖儀科技IC7000酸堿陰陽離子分析儀可以監(jiān)測F-、CL-、SO42-、NH4+等陰陽離子，在無塵室環(huán)境、晶圓表面、純水檢測等場景有廣泛應用。而VM1750有機物分析儀則是一款分析環(huán)境空氣中多組分VOCS的高精度儀器，可以監(jiān)測116種揮發(fā)性有機物，檢出限≤0.1ppb，可用于監(jiān)測半導體各制程環(huán)節(jié)的污染。
在一站式密封性檢測解決方案方面，皖儀科技推出了由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀等組成的完整產(chǎn)品線，支持真空噴氦法、吸槍法等多種檢測方式。在半導體設備制造，運行或維護過程中，氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于各種工藝，如刻蝕、CVD、PVD、真空爐、離子注入等。皖儀科技SFJ-16D單泵氦質(zhì)譜檢漏儀，采用了自有獨特的軟件算法和精密的真空系統(tǒng)設計，可滿足嚴苛的泄漏檢測要求。SFJ-16F雙泵氦質(zhì)譜檢漏儀則采用雙分子泵組合技術，可在量程范圍內(nèi)快速響應，并在極短的時間內(nèi)完成從達到開檢條件到給出測試結果。
在實驗室分析儀器領域，皖儀科技的分析儀器產(chǎn)品可應用于半導體工藝流程中的多個環(huán)節(jié)。 離子色譜儀可用于晶圓表面、濕電子化學品、光刻膠及配套試劑、電子特氣、潔凈空氣、封測、蝕刻劑、半導體超純水試劑中痕量雜質(zhì)離子、表面痕量無機雜質(zhì)離子、離子態(tài)雜質(zhì)分析。皖儀科技氣相、液相色譜儀，氣質(zhì)、液質(zhì)聯(lián)用儀可用于晶圓表面有機污染物、濕電子化學品的有機污染物、光刻膠有機物分析/配方剖析、電鍍液添加劑分析等有機污染物/有機成分分析，工藝氣體純度驗證，材料釋氣（OUTGASSING)分析。
11月24日，在IC China 2025的新品發(fā)布會上，皖儀科技半導體解決方案總監(jiān)發(fā)表了題為“半導體行業(yè)AMC監(jiān)測解決方案”的主題演講。
現(xiàn)場著重介紹了AMC監(jiān)測在半導體制造過程中的重要性及技術難點，分享了皖儀科技在該領域的創(chuàng)新成果和實踐經(jīng)驗。
半導體生產(chǎn)環(huán)境中，有害氣體分子污染物是威脅產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全的“隱形殺手”。隨著芯片制程節(jié)點不斷縮小，對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求日益嚴苛，AMC監(jiān)測已成為保障產(chǎn)品良率的關鍵環(huán)節(jié)。
皖儀科技AMC監(jiān)測解決方案能夠?qū)崿F(xiàn)對生產(chǎn)環(huán)境中ppt至ppb級AMC污染物的精準識別與實時監(jiān)控，為潔凈室環(huán)境提供嚴格保障，從源頭守護制程穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。
演講吸引了大量半導體制造企業(yè)、研究機構及行業(yè)專家的關注，現(xiàn)場座無虛席，交流互動環(huán)節(jié)氣氛熱烈。
聯(lián)盟會員：深化產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新
展會期間，皖儀科技還參加了2025年產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟中半?yún)f(xié)支撐業(yè)分會聯(lián)席理事（擴大）會議，并成功通過申請，正式加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟，成為會員單位。這標志著皖儀科技在半導體領域的技術實力和產(chǎn)業(yè)貢獻得到了行業(yè)廣泛認可。
加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟后，皖儀科技將更深入地參與半導體材料技術的研究與開發(fā)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同創(chuàng)新，共同推動我國半導體材料技術的進步和產(chǎn)業(yè)應用。聯(lián)盟會員身份將為皖儀科技提供更多與國內(nèi)外先進企業(yè)交流合作的機會，助力公司更好地把握行業(yè)發(fā)展趨勢，優(yōu)化產(chǎn)品布局。
創(chuàng)新積淀與未來展望
當前，半導體產(chǎn)業(yè)向更高制程、更優(yōu)性能邁進，卻面臨技術突破瓶頸與生態(tài)協(xié)同難題。皖儀科技作為中國半導體行業(yè)協(xié)會會員單位和集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟新成員，將深度融入產(chǎn)業(yè)生態(tài)，以專業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案，助力攻克“卡脖子”技術難題。
未來，皖儀科技將持續(xù)深耕，以更多硬核方案為半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入“芯”動能，秉持“進口替代”的初心，堅持自主創(chuàng)新，為我國半導體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供更多硬核解決方案。攜手共創(chuàng)全球半導體產(chǎn)業(yè)更璀璨的未來！
